一种自动化多(duō)工位硅片清洗工艺,采用(yòng)水基溶液、混合溶剂或去离子水等清洗介质,利用(yòng)超声波、鼓泡、喷淋等清洗工艺,去除硅片表面的污染物(wù),然后再通过在線(xiàn)加热器将氮气加热后,从烘干槽上部喷出对硅片进行干燥处理(lǐ)。
工艺流程:上料→超声波清洗→鼓泡清洗→喷淋清洗→氮气烘干→下料
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